薄膜作製装置:DCマグネトロンスパッタリング装置 薄膜作製装置:RFマグネトロンスパッタリング装置 真空熱処理装置 分析装置:透過型電子顕微鏡(TEM) 分析装置:原子間力顕微鏡(AFM) 分析装置:振動試料型磁力計(VSM) 分析装置:異常ホール効果測定(AHE) 分析装置:電気抵抗率測定 4探針法(four point probe for sheet resistance) 分析装置:磁気光学効果測定装置(PMOKE) 計算サーバー(仮置き中)